Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102015206391A1
Anmeldedatum10/04/2015 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum03/12/2015 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 27/102
ErfinderQuek, Elgin Kiok Boone, Singapore, SG; Shum, Danny Pak-Chum, Singapore, SG; Tan, Shyue Seng, Singapore, SG; Toh, Eng Huat, Singapore, SG
Anmelder/InhaberGLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., Singapore, SG
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102015206391A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102015206391A1
  
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