Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102015200593A1
Anmeldedatum16/01/2015 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum17/12/2015 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 21/8238
ErfinderBaars, Peter, 01139, Dresden, DE; Moll, Hans-Peter, 01277, Dresden, DE
Anmelder/InhaberGLOBALFOUNDRIES Inc., Grand Cayman, KY
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102015200593A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102015200593A1
  
AbstractEs werden integrierte Schaltungen und Verfahren zum Herstellen selbiger bereitgestellt. Ein Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltung umfasst ein Bilden einer Implantationsmaske, die ein Dummy-Gate überlagert, wobei die Implantationsmaske ein maskiertes Dummy-Gate und ein freiliegendes Dummy-Gate bildet. In das freiliegende Dummy-Gate werden Ionen implantiert und die Implantationsmaske wird entfernt. Das maskierte Dummy-Gate wird mit einem Ätzmittel geätzt, das bezüglich dem maskierten Dummy-Gate über dem freiliegenden Dummy-Gate selektiv ist, um einen Graben zu bilden, und der Graben wird mit einem leitfähigen Material gefüllt.

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