Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102015109965A1
Anmeldedatum22/06/2015 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum07/01/2016 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 21/50
ErfinderRoberts, Andrew, Denbigh, GB; Standing, Martin, Velden, AT
Anmelder/InhaberInfineon Technologies Austria AG, Villach, AT
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102015109965A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102015109965A1
  
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