Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102014210753A1
Anmeldedatum05/06/2014 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum17/12/2015 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 31/0304
ErfinderBett, Andreas W., , 79114, Freiburg, DE; Dimroth, Frank, 79115, Freiburg, DE; Heckelmann, Stefan, 79115, Freiburg, DE; Lackner, David, 79211, Denzlingen, DE
Anmelder/InhaberFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102014210753A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102014210753A1
  
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