Veröffentlichungs-Nummer | DE102014108966A1 |
Anmeldedatum | 26/06/2014 00:00:00 |
Veröffentlichungs-Datum | 31/12/2015 00:00:00 |
IPC-Hauptklasse | H01L 21/336 |
Erfinder | Kotsar, Yulia, Dr., Villach, AT; Lanzerstorfer, Sven Gustav, Dr. , Feldkirchen, AT; Zink, Robert, Dr., Riegersdorf, AT |
Anmelder/Inhaber | Infineon Technologies AG, 85579, Neubiberg, DE |
Offenlegungsschrift | https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102014108966A1 |
Vollständige Beschreibung | https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102014108966A1 |
Abstract | Leider kein Abstract vorhanden. |