Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102015115734A1
Anmeldedatum17/09/2015 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum24/03/2016 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 29/778
ErfinderHäberlen, Oliver, Dr., St. Magdalen, AT; Ostermaier, Clemens, Villach, AT; Prechtl, Gerhard, Rosegg, AT
Anmelder/InhaberInfineon Technologies Austria AG, Villach, AT
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102015115734A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102015115734A1
  
AbstractEin selbstsperrendes Verbindungshalbleiterbauelement umfasst einen ersten III-Nitrid-Halbleiter mit einer ersten geneigten Übergangsregion, in der der erste III-Nitrid-Halbleiter in einem Winkel von einer ersten Ebene zu einer zweiten Ebene übergeht, welche sich von der ersten Ebene unterscheidet, und einen zweiten III-Nitrid-Halbleiter auf dem ersten III-Nitrid-Halbleiter und mit einer anderen Bandlücke als der erste III-Nitrid-Halbleiter, so dass ein zweidimensionales Ladungsträgergas entlang einer Schnittstelle zwischen den ersten und zweiten III-Nitrid-Halbleitern entsteht. Das selbstsperrende Verbindungshalbleiterbauelement umfasst ferner ein Gate auf dem zweiten III-Nitrid-Halbleiter und einen dotierten Halbleiter über der ersten geneigten Übergangsregion und angeordnet zwischen dem Gate und dem zweiten III-Nitrid-Halbleiter. Das zweidimensionale Ladungsträgergas wird entlang der ersten geneigten Übergangsregion allein aufgrund der Neigung der ersten geneigten Übergangsregion, ...

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