Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102015115344A1
Anmeldedatum11/09/2015 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum17/03/2016 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 27/06
ErfinderWilhelm, Detlef, 93049, Regensburg, DE
Anmelder/InhaberInfineon Technologies AG, 85579, Neubiberg, DE
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102015115344A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102015115344A1
  
AbstractEine Schaltungsanordnung kann ein Halbleitersubstrat (102) einschließen, das eine erste Oberfläche (102b), eine zweite Oberfläche (102f) gegenüber der ersten Oberfläche (102b) und einen ersten dotierten Bereich (104) von einem ersten Leitfähigkeitstyp, der sich von der ersten Oberfläche (102b) in das Halbleitersubstrat (102) erstreckt, einschließt. Die Schaltungsanordnung kann ferner mindestens einen Kondensator mit einer ersten Elektrode mit einem dotierten Bereich vom ersten Leitfähigkeitstyp, der sich von der zweiten Oberfläche (102f) in das Halbleitersubstrat (102) erstreckt, eine dielektrische Schicht, die über der ersten Elektrode ausgebildet ist und sich von der zweiten Oberfläche (102f) von dem Halbleitersubstrat (102) weg erstreckt, und eine zweite Elektrode, die über der dielektrischen Schicht gegenüber der ersten Elektrode ausgebildet ist, einschließen. Die Schaltungsanordnung kann ferner mindestens eine Halbleitervorrichtung einschließen, die monolithisch im Halbleitersubstrat ...

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