Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102014119384A1
Anmeldedatum22/12/2014 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum23/06/2016 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 29/78
ErfinderSchmitt, Markus, Dr. , 85579, Neubiberg, DE; Voerckel, Andreas, Dr., Villach, AT; Weber, Hans, Dr., 83457, Bayerisch Gmain, DE
Anmelder/InhaberInfineon Technologies Austria AG, Villach, AT
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102014119384A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102014119384A1
  
AbstractEine Ladungskompensationshalbleitervorrichtung enthält einen Halbleiterkörper mit einer ersten Oberfläche (101), einem seitlichen Rand (41), der den Halbleiterkörper (40) in einer horizontalen Richtung im Wesentlichen parallel zur ersten Oberfläche (101) begrenzt, einem aktiven Bereich (110), einem peripheren Bereich (120), der zwischen dem aktiven Bereich (110) und dem seitlichen Rand (41) angeordnet ist, einem Driftgebiet (1, 1’), ersten Kompensationsgebieten (6), die entsprechende erste pn-Übergänge (14) mit dem Driftgebiet (1’) bilden, und zweiten Kompensationsgebieten (6’), die sich von der ersten Oberfläche (101) in das Driftgebiet (1’) erstrecken und entsprechende zweite pn-Übergänge (14) mit dem Driftgebiet (1’) bilden. Die ersten Kompensationsgebiete (6) bilden im aktiven Bereich (110) ein Gitter, das einen ersten Basisvektor (e1, e2) mit einer ersten Länge (wp) aufweist. Die zweiten Kompensationsgebiete haben, in einer horizontalen Richtung ...

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