Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102014119365A1
Anmeldedatum22/12/2014 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum23/06/2016 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 21/687
ErfinderHentschel, Michael, 01189, Dresden, DE
Anmelder/InhaberVON ARDENNE GmbH, 01324, Dresden, DE
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102014119365A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102014119365A1
  
AbstractGemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Substrathaltevorrichtung (100) Folgendes aufweisen: einen Träger (102) mit einer Auflagefläche (102a) zum Auflegen eines Substrats (120) auf den Träger; und mindestens zwei Haltestrukturen (104) zum Halten eines auf der Auflagefläche (102a) aufliegenden Substrats (120), wobei die mindestens zwei Haltestrukturen (104) derart federnd (104f) an dem Träger (102) befestigt sind, dass das auf der Auflagefläche (102a) aufliegende Substrat (120) seitlich klemmend gehalten werden kann.

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