Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102016110590A1
Anmeldedatum08/06/2016 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum15/12/2016 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 21/60
ErfinderHesse, Hans-Jürgen, Dr.-Ing., 33106, Paderborn, DE; Jochheim, Andreas, Dr.-Ing., 33100, Paderborn, DE; Walther, Frank, Dipl.-Ing., 33100, Paderborn, DE
Anmelder/InhaberHesse GmbH, 33104, Paderborn, DE
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102016110590A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102016110590A1
  
AbstractDie Erfindung betrifft ein Kalibrierverfahren für einen Bonder, bei dem eine Charakteristik für einen Kraftaktuator des Bonders messtechnisch erfasst und so abgespeichert wird, dass auf Basis der messtechnisch erfassten Daten der Kraftaktuator im Produktionsbetrieb des Bonders optimal angesteuert werden kann. Ferner betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur vollautomatischen oder teilautomatischen Bondkraftkalibrierung.

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