Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102015110484A1
Anmeldedatum30/06/2015 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum05/01/2017 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 29/78
ErfinderHirler, Franz, Dr., 84424, Isen, DE
Anmelder/InhaberInfineon Technologies Austria AG, Villach, AT
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102015110484A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102015110484A1
  
AbstractEin Halbleiterbauelement umfasst eine Mehrzahl von Kompensationsregionen einer vertikalen elektrischen Elementanordnung, eine Mehrzahl von Drift-Regionen der vertikalen elektrischen Elementanordnung und eine nicht-ausräumbare Dotierungsregion. Die Kompensationsregionen aus der Mehrzahl von Kompensationsregionen sind in einem Halbleitersubstrat des Halbleiterbauelements angeordnet. Ferner ist die Mehrzahl von Drift-Regionen der vertikalen elektrischen Elementanordnung in dem Halbleitersubstrat innerhalb einer Zellregion des Halbleiterbauelements angeordnet. Die Mehrzahl von Drift-Regionen und die Mehrzahl von Kompensationsregionen sind abwechselnd in einer lateralen Richtung angeordnet. Die nicht-ausräumbare Dotierungsregion erstreckt sich lateral von einem Rand der Zellregion zu einem Rand des Halbleitersubstrats hin. Die nicht-ausräumbare Dotierungsregion weist eine Dotierung auf, die durch an das Halbleiterbauelement während eines Sperrbetriebs angelegte Spannungen nicht-ausräumbar ...

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