Eugen G. Leuze Verlag KG
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Veröffentlichungs-NummerDE102015108901A1
Anmeldedatum05/06/2015 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum08/12/2016 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 21/68
ErfinderDragoi, Viorel, St. Florian, AT
Anmelder/InhaberEV Group E. Thallner GmbH, St. Florian, AT
  
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102015108901A1
  
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102015108901A1
  
AbstractDie Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ausrichten eines mindestens zwei erste Ausrichtungsmarkierungen (8) aufweisenden ersten Substrats (7) mit einem mindestens zwei zweite Ausrichtungsmarkierungen (8') aufweisenden zweiten Substrat (7'), wobei – durch eine erste Zuordnung die ersten Ausrichtungsmarkierungen (8) mindestens zwei ersten charakteristischen Ausrichtungsmerkmalen (9) des ersten Substrats (7) in einer X-Richtung und in einer Y-Richtung zugeordnet werden, – durch eine zweite Zuordnung die zweiten Ausrichtungsmarkierungen (8') mindestens zwei zweiten charakteristischen Ausrichtungsmerkmalen (9') des zweiten Substrats (7') in einer X-Richtung und in einer Y-Richtung zugeordnet werden und – durch eine Ausrichtung die ersten (8) und zweiten Ausrichtungsmarkierungen (8') mittels der ersten und zweiten charakteristischen Ausrichtungsmerkmale (9, 9') zueinander in X- und Y-Richtung ausgerichtet werden. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine ...

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