Eugen G. Leuze Verlag KG
×
 x 

Warenkorb leer.
Warenkorb - Warenkorb leer.

Offengelegte Patentanmeldungen Elektronikfertigung

Veröffentlichungs-NummerDE102019116908A1
Anmeldedatum24/06/2019 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum16/01/2020 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 21/60
ErfinderChang, Fu-Cheng, Hsinchu, TW; Lin, Ping-Hao, Hsinchu, TW; Weng, Ssu-Chiang, Hsinchu, TW
Anmelder/InhaberTaiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd., Hsinchu, TW
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102019116908A1
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102019116908A1
Abstract Ein Verfahren umfasst das Bonden eines ersten Wafers mit einem zweiten Wafer. Der erste Wafer weist eine Mehrzahl dielektrischer Schichten, ein Metallrohr, das die Mehrzahl dielektrischer Schichten durchdringt, und einen vom Metallrohr umschlossenen dielektrischen Bereich auf. Der dielektrische Bereich weist eine Mehrzahl von aus Seitenwänden und oberen Flächen von Abschnitten der Mehrzahl dielektrischer Schichten, gebildeten Stufen auf, die von dem Metallrohr umschlossen sind. Das Verfahren umfasst ferner das Ätzen des ersten Wafers zum Entfernen des dielektrischen Bereichs und Freilegen einer vom Metallrohr umschlossenen Öffnung, das Erweitern der Öffnung in den zweiten Wafer zum Freilegen einer Metallanschlussfläche im zweiten Wafer und das Füllen der Öffnung mit einem leitfähigen Material zum Bilden eines leitfähigen Steckers in der Öffnung.

Der Leuze Verlag ist die Quelle für fundierte Fachinformationen.
Geschrieben von Fachleuten für Fachleute. Fachzeitschriften und Fachbücher
rund um Galvano- und Oberflächentechnik sowie Aufbau- und Verbindungstechnik in der Elektronik –
seit 119 Jahren professionelle Informationen und Fachwissen aus erster Hand.

UNTERNEHMEN

ZAHLARTEN

Paypal Alternative2Invoice
MaestroMastercard Alternate
American ExpressVisa

Zahlarten z.T. in Vorbereitung.

KONTAKT

Eugen G. Leuze Verlag KG
Karlstraße 4
88348 Bad Saulgau

Tel.: 07581 4801-0
Fax: 07581 4801-10

E-Mail: info@leuze-verlag.de oder
E-Mail: mail@leuze-verlag.de