Eugen G. Leuze Verlag KG
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Offengelegte Patentanmeldungen Elektronikfertigung

Veröffentlichungs-NummerDE102018117130A1
Anmeldedatum16/07/2018 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum16/01/2020 00:00:00
IPC-HauptklasseH01J 37/305
ErfinderDeus, Carsten, 01309, Dresden, DE
Anmelder/InhaberVON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG, 01328, Dresden, DE
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=pdf&docid=DE102018117130A1
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102018117130A1
Abstract Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Beschichtungsanordnung (100 bis 700) aufweisen: eine Elektronenstrahlkanone (112) zum Bereitstellen eines Elektronenstrahls (23); einen Strahlfänger (202) zum Auffangen des Elektronenstrahls (23); eine Steuervorrichtung (204) zum Ansteuern der Elektronenstrahlkanone (112) und/oder des Strahlfängers (202), wobei die Steuervorrichtung (204) eingerichtet ist, das Ansteuern zwischen mehreren Konfigurationen umzuschalten, von denen: in einer ersten Konfiguration der Elektronenstrahl (23) auf den Strahlfänger (202) gerichtet ist; und in einer zweiten Konfiguration der Elektronenstrahl (23) an dem Strahlfänger (202) vorbei gerichtet ist.

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