Eugen G. Leuze Verlag KG
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Offengelegte Patentanmeldungen Elektronikfertigung

Veröffentlichungs-NummerDE102019131941A1
Anmeldedatum26/11/2019 00:00:00
Veröffentlichungs-Datum04/06/2020 00:00:00
IPC-HauptklasseH01L 21/365
ErfinderNagaoka, Tatsuji, Aichi-ken, Toyota-shi, JP; Nishinaka, Hiroyuki, Kyoto, JP; Yoshimoto, Masahiro, Kyoto, JP
Anmelder/InhaberNATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KYOTO INSTITUTE OF TECHNOLOGY, Kyoto, JP; TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA, Aichi-ken, Toyota-shi, JP
Offenlegungsschrifthttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=pdf&docid=DE102019131941A1
Vollständige Beschreibunghttps://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=treffer&action=textpdf&docid=DE102019131941A1
Abstract [DE] Eine Schichtausbildungsvorrichtung, die eingerichtet ist, einen Nebel einer Lösung zu einem Substrat zuzuführen, um eine Schicht an dem Substrat epitaktisch wachsen zu lassen, umfasst: einen Ofen, der das Substrat aufnimmt; einen Nebelerzeugungsbehälter, der eingerichtet ist, in diesem den Nebel zu erzeugen; einen Nebelzuführpfad, der den Behälter und den Ofen verbindet; einen Trägergaszuführpfad, der eingerichtet ist, ein Trägergas in den Behälter zuzuführen; einen Verdünnungsgaszuführpfad, der eingerichtet ist, ein Verdünnungsgas in den Nebelzuführpfad zuzuführen; und ein Gasströmungsratensteuerungsgerät, das eingerichtet ist, Strömungsraten des Träger- und Verdünnungsgases zu steuern. Der Nebel in dem Behälter strömt mit dem Trägergas zu dem Nebelzuführpfad, der Nebel in dem Nebelzuführpfad strömt mit dem Träger- und Verdünnungsgas zu dem Ofen, und das Steuerungsgerät ist eingerichtet, die Strömungsrate des Verdünnungsgases zu verringern, wenn es die Strömungsrate des Trägergases ...

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