Twitter
Facebook
Linkedin
MySpace
Das Versuchsmanagement ist eine entscheidende Funktionalität in der Halbleiterfertigung. Die Integration von Versuchen im MES erlaubt die parallele Abwicklung von Fertigungslosen mit Testwafern in der laufenden Produktion. Dank der uneingeschränkten Nachverfolgung können Daten aus den Versuchsläufen automatisch zur Auswertung aufgezeichnet werden.
Das integrierte Rezeptmanagement-Modul bietet die Maschinenintegration und Strategien zur automatischen Rezeptsteuerung, um mögliche Fehler, Nacharbeit oder Ausschuss vermeiden.
Für Vorläuferwafer, die aus dem Carrier entnommen und zum Testen eines Prozesses vorausgeschickt werden, stellt die Send-Ahead-Funktionalität im MES sicher, dass sie nach der Entnahme korrekt bearbeitet, nachverfolgt und in das entsprechende Los zurückgeführt werden. Das System ermöglicht auch den Vorlauf des gesamten Loses, indem die zu bearbeitenden Slots im Carrier definiert werden. Die restlichen Wafer werden dabei nicht berücksichtigt, bis das Ergebnis vorliegt.
Halle C1 Stand 736
