Optische Messsysteme für den sub-2 µm-Bereich

Ein mehrlagiges Kunststoffrohr, bestehend aus Außen- und Innenschicht mit einer über Haftvermittler verbundenen EVOH-Schicht dazwischen (Foto: Fraunhofer ITWM)

Das Fraunhofer-Institut für Techno- und Wirtschaftsmathematik ITWM nutzt diese Technik zur Dickenmessung sehr dünner Schichten und entwickelt im Projekt „Dünnschicht-OCT“ die nächste Generation dieser Messsysteme. Ziel ist, die Auflösungsgrenze der OCT-Systeme von derzeit etwa 10 µm auf unter 2 µm zu verbessern.

Bei der Optischen Kohärenztomographie dringt das eingesetzte Licht, im sichtbaren oder nahinfraroten Wellenlängenbereich, in eine transparente Probe ein und wird an den Grenzschichten teilweise reflektiert und anschließend detektiert. Die Analyse des Interferenzmusters des detektierten Signals ermöglicht es dann, die Schichtdicken zu berechnen.

Zu den Anwendungen zählen transparente Lackschichten, Verpackungen und Folien, beschichtete Wafer, Glassubstrate, dünne Drähte sowie der Schichtaufbau von Rohren und Schläuchen.