Eugen G. Leuze Verlag KG
×
 x 

Warenkorb leer.
Warenkorb - Warenkorb leer.
Montag, 20 März 2023 14:00

Kooperation von LZH und Beneq für ultraschnelle ALD-Beschichtungen

von Redaktion
Geschätzte Lesezeit: 1 Minute
Spatial ALD-Anlage C2R Spatial ALD-Anlage C2R Foto: Beneq

Das finnische Unternehmen Beneq und das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) haben gemeinsam eine Spatial ALD-Anlage entwickelt, mit der sich komplex geformte 3D-Objekte wie Optiken in bisher unerreichter Geschwindigkeit im Produktionsmaßstab beschichten lassen. Die ALD-Anlage C2R erreicht Geschwindigkeiten von bis zu 200 U/min mit Auftragsraten von bis zu 1 µm/Stunde. Sie ermöglicht eine exakte Kontrolle der Schichtdicke z. B. bei stark gekrümmten, kleinen asphärischen Linsen. Die ALD-Technologie (engl. atomic layer deposition, ALD) ist ein selbstbegrenzender und isotroper Prozess, der pro Zyklus eine Schichtdicke von etwa 1 Angström erreichen und damit extrem maßgenaue Schichten oder Nano-Multilayers erzeugen kann.

Das Herzstück der Spatial ALD-Anlage ist ein Drehtisch, der zeitlich nacheinander ablaufende Teilprozesse, wie sie in Batch-ALD-Systemen zum Zuge kommen, nicht mehr erforderlich macht. Stattdessen trennen Druck- und Stickstoffvorhänge vier Zonen innerhalb des Systems geometrisch voneinander ab. Eine Umdrehung des Drehtisches entspricht einem ALD-Zyklus, wobei die Proben während der Umdrehung an verschiedenen Punkten den erforderlichen Reaktanten ausgesetzt werden. Derzeit arbeitet das LZH an der Beschichtung von optischen Gitterstrukturen und polymeroptischen Linsen für den Einsatz in Virtual- und Augmented-Reality-Brillen mit dem Spatial ALD-Verfahren.

www.lzh.de

Weitere Informationen

  • Ausgabe: 3
  • Jahr: 2023
  • Autoren: Redaktion

Onlineartikel Suche

Volltext

Autoren

Ausgabe

Jahr

Kategorie

Newsletter

Auf dem Laufenden bleiben? Jetzt unsere Newsletter auswählen und alle 14 Tage die neuesten Nachrichten in Ihrem E-Mail Postfach erhalten:

Der Leuze Verlag ist die Quelle für fundierte Fachinformationen.
Geschrieben von Fachleuten für Fachleute. Fachzeitschriften und Fachbücher
rund um Galvano- und Oberflächentechnik sowie Aufbau- und Verbindungstechnik in der Elektronik –
seit 120 Jahren professionelle Informationen und Fachwissen aus erster Hand.

UNTERNEHMEN

ZAHLARTEN

Paypal Alternative2Invoice
MaestroMastercard Alternate
American ExpressVisa

Zahlarten z.T. in Vorbereitung.

KONTAKT

Eugen G. Leuze Verlag
GmbH & Co. KG
Karlstraße 4
88348 Bad Saulgau

Tel.: 07581 4801-0
Fax: 07581 4801-10

E-Mail: [email protected] oder
E-Mail: [email protected]