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Montag, 20 März 2023 14:00

Kooperation von LZH und Beneq für ultraschnelle ALD-Beschichtungen

von Redaktion
Geschätzte Lesezeit: 1 Minute
Spatial ALD-Anlage C2R Spatial ALD-Anlage C2R Foto: Beneq

Das finnische Unternehmen Beneq und das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) haben gemeinsam eine Spatial ALD-Anlage entwickelt, mit der sich komplex geformte 3D-Objekte wie Optiken in bisher unerreichter Geschwindigkeit im Produktionsmaßstab beschichten lassen. Die ALD-Anlage C2R erreicht Geschwindigkeiten von bis zu 200 U/min mit Auftragsraten von bis zu 1 µm/Stunde. Sie ermöglicht eine exakte Kontrolle der Schichtdicke z. B. bei stark gekrümmten, kleinen asphärischen Linsen. Die ALD-Technologie (engl. atomic layer deposition, ALD) ist ein selbstbegrenzender und isotroper Prozess, der pro Zyklus eine Schichtdicke von etwa 1 Angström erreichen und damit extrem maßgenaue Schichten oder Nano-Multilayers erzeugen kann.

Das Herzstück der Spatial ALD-Anlage ist ein Drehtisch, der zeitlich nacheinander ablaufende Teilprozesse, wie sie in Batch-ALD-Systemen zum Zuge kommen, nicht mehr erforderlich macht. Stattdessen trennen Druck- und Stickstoffvorhänge vier Zonen innerhalb des Systems geometrisch voneinander ab. Eine Umdrehung des Drehtisches entspricht einem ALD-Zyklus, wobei die Proben während der Umdrehung an verschiedenen Punkten den erforderlichen Reaktanten ausgesetzt werden. Derzeit arbeitet das LZH an der Beschichtung von optischen Gitterstrukturen und polymeroptischen Linsen für den Einsatz in Virtual- und Augmented-Reality-Brillen mit dem Spatial ALD-Verfahren.

www.lzh.de

Weitere Informationen

  • Ausgabe: 3
  • Jahr: 2023
  • Autoren: Redaktion

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