Automatisierte Wafer-Verpackung

Die luftdichte Verpackung in FOSBs ist aufwendig und zeitraubend – und war bisher meist ein manueller Prozess. Die cts GmbH bietet jetzt eine Automatisierungslösung für diesen Vorgang. Damit wird sichergestellt – und zudem automatisch getestet und dokumentiert, dass die Rohlinge für die Chipproduktion auf ihrem Weg von Reinraum zu Reinraum nicht kontaminiert werden.

Die manuelle Handhabung der FOSB-Transportbehälter mit Stapeln von 25 Wafern mit 300 Millimeter Durchmesser sowie das luftdichte zweifache Verschweißen in Spezialfolien sind aufwendig. Als eine der wenigen verbliebenen manuellen Tätigkeiten in einer sonst weitgehend automatisierten Industrie stellt die Vorbereitung der Wafer-Auslieferung zudem ein Prozessrisiko dar. cts hat für die FOSB-Beladung kompakte Automaten entwickelt, die möglichst wenig teuren Reinraumplatz beanspruchen. Die Lösung kann in verschiedenen Automatisierungsgraden geliefert werden – bis hin zum Einsatz von an Reinraumanforderungen angepasste AMRs (Autonomous Mobile Robots) aus dem cts-Smart-Logistics-Portfolio. So schließt ein vollkommen autonomer, automatisierter Transportprozess ohne aufwendige Umbauarbeiten an die automatische Verpackung und Dichteprüfung an.

„Aufbauend auf einer Einzelanfertigung für einen Kunden hat cts diese standardisierte modulare Gesamtlösung entwickelt, die auf Wunsch den gesamten Prozess der FOSB-Verpackung vollständig automatisiert“, erläutert Stefan Schmiedlechner, „Wafer-Produzenten erreichen so in drei Ausbaustufen umfassende Prozesssicherheit“ so der Leiter Fertigungsautomatisierung bei cts. Dies entlaste die Mitarbeitenden, mache sie frei für wichtigere wertschöpfende Tätigkeiten und eliminiere mögliche Fehlerquellen. „Mit einer möglichen Auslastung von bis zu 10 000 FOSBs pro Quartal, was 250 000 Wafern entspricht, eignet sich die Lösung sowohl für mittel dimensionierte Megafabs als auch für kleinere Gigafabs mit bis zu sechsstelligem Produktionsvolumen pro Monat. Das halbautomatische Modell ‚Manual Bagging' und die vollautomatische Version ‚Auto Bagging' gehören dabei zu den marktweit kompaktesten Lösungen und nehmen so wenig wie möglich wertvollen Platz in Reinräumen ein.“

Die 2006 gegründete cts GmbH deckt mit ihrem Angebot das komplette Dienstleistungsspektrum für die Bereiche Prozess- und Fertigungsautomation ab. Bereits zwei Mal (2016 und 2018) wurde das Unternehmen mit dem begehrten Top-100-Preis für besonders innovative Unternehmen im deutschen Mittelstand ausgezeichnet.

Das cts-Portfolio reicht vom Bau eines einzelnen Schaltschrankes bis hin zur Automatisierung kompletter Produktionsanlagen inklusive eigenem Informationsmanagement. Mit seiner 15-jährigen Erfahrung als Systemintegrator bietet das Unternehmen seinen Kunden umfassende Betreuung von der Konzeptionierung und Machbarkeitsstudien über Planung und Implementierung bis hin zur Wartung und Pflege der laufenden Systeme und Anlagen. Für die Fertigungsautomatisierung entwickelt cts dabei kundenindividuelle Gesamtlösungen, die höchste Effizienz und Produktivität mit optimaler Investitions- und Zukunftssicherheit verbinden. Im Bereich der Materialversorgung gilt cts heute als eines der führenden Unternehmen für die Integration heterogen gestalteter Flotten autonomer, intelligenter Transportfahrzeuge (AMR/AIV/AGV/FTS) in Kombination mit fertigungsnahen automatisierten Lagersystemen wie dem Smart Warehouse.

In anderen Unternehmensbereichen bietet cts ein umfangreiches Portfolio zur Visualisierung, Steuerung und Überwachung von Raffinerie-, Petrochemie- und Pharmaanlagen. Ein besonderes Augenmerk gilt dem Geschäftsfeld Robotics. Das Leistungsspektrum erstreckt sich hier vom Programmieren über Installieren bis hin zum Optimieren von Schweiß- und Produktionsrobotern oder auch vollautomatisierter Verpackungsanlagen.