Charakterisierung von Schichtsystemen mit der Enhanced Stiffness Procedure ESP

Moderne Beschichtungsmethoden erlauben es, sehr dünne und harte Schichten auf einen nicht sehr verschleißfesten Trägerwerkstoff aufzubringen. Der Trend geht weg von den üblichen TiN- oder TiAlNSchichten hin zu DLC(Diamond like carbon)- Schichten. Ein wesentlicher Vorteil ist hierbei ein nahezu gleicher Elastizitätsmodul von Schicht- und Grundwerkstoff, aber eine viel höhere Oberflächenhärte. Da eine zerstörungsfreie Schichtdickenmessung mit konventionellen Methoden hier nicht funktioniert, kann die genaue Schichtdicke nicht ermittelt werden. Mit der Enhanced Stiffness Procedure lässt sich hier auch die Härte einer unbekannt dicken Schicht bestimmen, ohne dass ein Einfluss des Grundwerkstoffs mitgemessen wird.