Ein bewährtes Abscheideverfahren aus anderen (Streu)Winkeln betrachtet
1 Einleitung
Dünne Schichten sind ein zentraler Bestandteil vieler moderner Technologien, zum Beispiel in der Optik, Elektronik, Sensorik oder Energiegewinnung. Dabei ist zu beobachten, dass die Anforderungen an die Schichten bezüglich Qualität sowie die Bandbreite der benötigten Schichteigenschaften stetig steigen. Dies erfordert Abscheideverfahren, die sowohl qualitativ hochwertige Schichten herstellen können als auch deren Eigenschaften flexibel an sich ändernde Anforderungen anpassen können.