?Fortsetzung aus Heft 4/91
6 Ätzkinetik?
Um einen Einblick in die Ätzkinetik und den Reaktionsmechanismus zu gewinnen, liefert die Ermittlung der Absolutwerte der Aktivierungsenergien einen weiteren Anhaltspunkt. Die Aktivierungsenergien für den Ätzabtrag ergeben sich aus den Steigungen der Geraden, die man bei dem Aufträgen der Ätzraten über der reziproken absoluten Temperatur im halblogarithmischen Netz erhält (Arrhenius- Diagramm).