Elektrochemische Abscheidung von Kobalt aus tief eutektischen Lösungen (TEL)

Die Suche nach nanoskaligen und günstigen hartmagnetischen Materialien mit hoher Leistungsfähigkeit ist eine wichtige Aufgabe bei der zunehmenden Fokussierung auf eine Miniaturisierung von elektronischen Bauteilen, die einen weiten Bereich von rein industriellen bis hin zu verbraucherorientierten Anwendungen umfasst. Auf den Gebieten Medizintechnik, Sensorik, Aktorik, integrierte Optik und elektronische Verbundsysteme erlangt zudem die Mikrostrukturtechnik an Bedeutung [1]. So werden beispielsweise für Aktuatoren oder Rotoren in Mikromotoren ferromagnetische Komponenten benötigt [2]. Diese Eigenschaften weisen magnetische Legierungen auf, die sich aus Metallen der Eisengruppe (Eisen, Kobalt, Nickel) und den Seltenerd- Metallen (Neodym, Samarium) zusammensetzen. Allerdings sind hartmagnetische Schichten aus wässrigen Elektrolyten generell nur schwer herzustellen.