Galvanische Verfahren für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik

Mikrosysteme werden in zunehmenden Maße als Sensoren und Aktuatoren industriell eingesetzt, so z.B. in der Automobilindustrie in Sicherheitssystemen und im Motormanagement, in der Kommunikationsindustrie als elektro-optische-Wandler oder in der Umwelttechnik als chemische Sensoren für die Messung der Luft- und Wassergüte. Dabei werden immer häufiger metallische Mikrostrukturen benötigt. So werden bewegliche Elemente als Beschleunigungsdetektoren oder Digitalelektroden als chemische Sensoren eingesetzt. Bei der Herstellung dieser Strukturen wird versucht, möglichst auf die gleichen Technologien zurückzugreifen, wie sie ohnehin für die Fertigung der oft benötigten Signalverarbeitungen Anwendung finden. Dies ermöglicht eine Integration von elektronischen Schaltungen mit Sensorelementen und führt zu einer Kostensenkung der Gesamtsysteme. Zur Realisierung von metallischen Strukturen wurde die galvanische Additivtechnik entwickelt. Hiermit lassen sich sowohl feste (Planarspulen, Interdigitalstrukturen) wie auch bewegliche Strukturen (Schwinger) herstellen. Dabei ergeben sich spezielle Anforderungen an den Galvanikprozeß.