Herstellung freigestellter Ag-Sinterschichten mit unterschiedlichen Porositäten zur Charakterisierung mechanischer Kennwerte

Das Silbersintern ist eine der vielversprechendsten Verbindungstechnologien für die Hochtemperaturanwendung in der Mikrosystemtechnik. Im Vergleich zu den klassischen Löttechniken ist das Silbersintern ein relativ neues Verfahren. Die positiven Eigenschaften gesinterter Ag-Verbindungsschichten, wie beispielsweise deren Kriech- und Ermüdungsbeständigkeit bei thermomechanischen Belastungen sowie die sehr gute thermische und elektrische Leitfähigkeit des Silbers, sind ausschlaggebend dafür, dass schon heute druckgesinterte Ag-Schichten in Leistungsmodulen mit DCB-Substraten industriell Anwendung finden. Mit der Vorgabe das Einsatzgebiet des Silbersinterns zu erweitern und mit geringerem Druck beziehungsweise sogar drucklos zu sintern, ist die Fragestellung, inwiefern die prozessbedingte Restporosität in den Ag-Sinterschichten einen Einfluss auf deren mechanische Eigenschaften hat, ein wichtiger Punkt in aktuellen Forschungsprojekten. Im Folgenden werden daher Möglichkeiten zur Herstellung freigestellter Ag-Sinterschichten erläutert sowie Verfahren zur Charakterisierung des mechanischen Verformungsverhaltens dieser Ag-Proben aufgezeigt und insbesondere in Hinblick auf deren Anwendbarkeit für poröse Strukturen diskutiert.