Hochgenaue Prägewerkzeuge mit optischer Qualität durch abgeformte PVD-Schichten

Fr die Formherstellung von Bauteilen oder Strukturen im Mikrometer- und Nanometermaßstab eignen sich unterschiedliche Herstellungsverfahren. Viele dieser Verfahren sind zur Erzeugung von einzelnen Formen, welche separat gefertigt werden, einsetzbar...