Hochrateabscheidung von Schutzbeschichtungen mit einem Mikrowellenplasma

Plasmatechnologische Schichtabscheidungsverfahren gehören mit zu den wichtigsten Beschichtungsverfahren in der industriellen Fertigungstechnik und nehmen eine immer wichtigere Rolle ein. Mit ihnen lassen sich Materialien aller Art, wie Glas, Metalle und vor allem auch Kunststoffe, mit funktionellen Beschichtungen versehen, wodurch die Werkstücke ganz neue Oberflächeneigenschaften erhalten und sich dadurch auch neue Anwendungsmöglichkeiten erschließen. Mit Plasma abgeschiedene Schichten können zwar in der Regel mit einer sehr hohen Qualität hergestellt werden, haben aber oft den Nachteil, dass die Beschichtungsprozesse vergleichs- weise langsam und nur schwer auf große Flächen skalierbar sind. Für viele Anwendungen ergibt sich dadurch ein Nachteil gegenüber konventionellen Beschichtungstechniken, wie zum Beispiel dem Lackieren. In diesem Beitrag wird daher anhand der Beschichtung von Polycarbonat mit UV- und Kratzschutzschichten das Potential eines auf Mikrowellenplasma basierten Abscheideverfahrens aufgezeigt, welches sehr hohe Abscheideraten aufweist und auf große Flächen skalierbar ist.