Messung innerer Spannungen in galvanisch abgeschiedenen Nickel- und Zinkschichten

Die mechanische Messung innerer Spannungen ist eine grundlegende Methode zur Charakterisierung von dünnen, galvanisch abgeschiedenen Metallschichten. Die beiden hierzu eingesetzten Messgeräte – Internal Stress-Meter und MSM 200 – werden gegenübergestellt und hinsichtlich Schichtdickenverteilung und gemessener innerer Spannung in Nickelschichten, abgeschieden aus ausgewählten Elektrolyten, verglichen. Diese methodischen Untersuchungen sind Ausgangspunkt zu Untersuchungen hinsichtlich des Einflusses der Art des Nickelelektrolyten, von Zusätzen und Netzmitteln sowie auch zu Zink- oder anderen Elektrolyten.