Für das isotrope Ätzen zum Zweck der Reinigung von Oberflächen, Entfernung von Masken und von Smear aus Bohrlöchern sowie zur Substratvorbehandlung zur Verbesserung der Haftfestigkeit, werden Sauerstoffplasmen eingesetzt. Vorteile dieser Behandlung gegenüber dem Naßätzen liegen in der geringen Zahl der Prozeßschritte (das Waschen und Trocknen entfällt) sowie, da kaum oder keine Chemikalien verwendet werden, in der einfachen Entsorgung.