Polieren von Oberflächen im Plasma mit Hilfe von Ionenquellen stellt zukünftig eine Alternative zu den etablierten Elektropolierverfahren dar. Während die Behandlungszeiten beim Elektropolieren zwar deutlich kürzer sind, können durch das Plasmapolieren direkt ohne Wechsel des Verfahrens mittels Vakuum-Beschichtung durch beispielsweise Magnetron-Sputtern funktionelle Oberflächenbeschichtungen (z. B. harte, verschleißbeständige Schichten, antibakterielle Schichten, Knochenwachstums-fördernde Beschichtungen) aufgebracht werden. Diese Arbeit vergleicht die bei den beiden Polierverfahren erreichbaren (sehr ähnlichen) Oberflächenrauheiten mit speziellem Fokus auf die Titanlegierung Ti Al 6 V 4 und Anwendungen für medizinische Implantate.