Praktische Oberflächenanalytik – Überblick über die Verfahren EDX, AES, XPS und SIMS

Für die Oberflächenanalytik stehen eine Reihe von Messmethoden zur Verfügung, die auf der Stimulation und der darauf folgende Emission von Teilchen beziehungsweise elektromagnetische Wellen beruhen. Je nach Fragestellung ist aus den Möglichkeiten das geeignete Verfahren auszuwählen. Dabei sind nicht nur die technischen Gütekriterien der Analyseverfahren wichtig, wie beispielsweise die Informationstiefe, das Auflösungs- oder das Nachweisvermögen, sondern auch die deutlich unterschiedlichen Kosten der Methoden. Die Rolle der Oberflächenanalytik im industriellen Umfeld wird zukünftig immer wichtiger werden, da die Anforderungen an die Oberflächenqualität kontinuierlich zunehmen. Neben den zunehmend dünner werdenden Schcihten, die heute bereits in Bereichen unterhalb eines Nanometers liegen können, kommen vermehrt biologische Fragestellungen hinzu, die den Einsatz ausgefeilter Analysemethoden mit höchster Oberflächensensitivität unverzichtbar machen.