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PVD-Schichtverbundcharakterisierung?direkt am Werkzeug und modellierungsbasierte Schichtoptimierung?

Artikelnummer: GALVANO-20098
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PVD-Schichtverbundcharakterisierung?dire
Vor ca. 30 Jahren konnte man PVD-Schichten noch an einer Hand abzählen (selbst heute ist „goldgelbes“ TiN noch am bekanntesten). Inzwischen werden auf Webseiten von nur 3 namhaften Dienstleistern am Markt über 100 verschiedene PVD-Schichten unter eigenen Markennamen angeboten, die teilweise sogar patentiert sind. Vor diesem Hintergrund ist es Motivation dieses Beitrags, Werkzeuganwendern überwiegend auf Normen basierte Methoden vorzustellen, um Schichten zeiteffizient bewerten, vergleichen und optimieren zu können. Über eine Optimierung und Kombination vorgestellter Prüfverfahren können, oft auch direkt am Werkzeug und zerstörungsfrei, aussagekräftige Messdaten gewonnen und durch den Einsatz von Modellierungssoftware deren Informationsgehalt gesteigert werden. Die Ergebnisse dienen als Orientierungshilfe bzw. ermöglichen eine objektivere Vergleichbarkeit und verkürzen damit den nach wie vor erforderlichen Auswahl- und Versuchsprozess. //
About 30 years ago, PVD layers could still be counted on one hand (even today “golden yellow” TiN is still best known). Meanwhile, on websites of only 3 well- known service providers on the market, over 100 dif- ferent PVD layers are offered under their own brand names, some of which are even patented. Against this background, it is the motivation of this contribution to present tool users predominantly methods based on standards in order to be able to evaluate, com- pare and optimise layers in a time-ef cient manner. By optimizing and combining presented test methods, meaningful measurement data can be obtained, often directly at the tool and non-destructively, and their information content can be increased through the use of modelling software. The results serve as an orientation aid and enable a more objective comparability and thus shorten the selection and testing process that is still required
 
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