Die Entwicklung der Oberflächentechnik und die in der Industrie zunehmend höheren Anforderungen an Schichten erfordern deren immer genauere Charakterisierung. Eine wichtige Größe ist hierbei die Schichtdicke beziehungsweise Flächenmasse. Diese wird im industriellen Einsatz mit zahlreichen und für die jeweilige Anwendung optimierten Messverfahren bestimmt, wobei sich selbst bei Verwendung gleicher technischer Effekte nicht immer konsistente Resultate ergeben. Technische Entwicklungen und Qualitätssicherungsmaßnahmen erfordern jedoch die Vergleichbarkeit der Ergebnisse. Dazu ist die Rückführung der Messergebnisse unerlässlich. Man versteht darunter den Vorgang, ein Messergebnis auf nationale oder international akzeptierte Normale zu beziehen, mittels einer un- unterbrochenen Kette von dokumentierten Vergleichen von geeigneten Normalen. Dabei versteht man unter Kalibrieren das Feststellen des Zusammenhangs zwischen der Anzeige eines Messgeräts und der Messgröße, deren richtiger be- ziehungsweise der als richtig geltende Wert durch ein Normal verkörpert oder erzeugt wird. Eine Kalibrierung kann sich auf eine Maßverkörperung oder auch auf ein Messgerät beziehen.