Bei der Fertigung von Microvias nach den Richtlinien ISO?16949 sowie ISO?13485 ist die Prozessfähigkeit Cpk der beteiligten Prozesse jederzeit nachzuweisen. Es wird eine Methode vorgestellt, mit der die Prozess- sicherheit bei der Fertigung von Microvias gewährleistet werden kann. Die Methode ist dabei gleichermaßen für Microvias über 2 und 3 Lagen geeignet. Anhand von einfachen Testcoupons, bei denen der elektrische Widerstand vor und nach einer Stromimpulsbelastungsfolge gemessen wird, können Rückschlüsse auf die Qualität der Microvia-Prozesse gemacht werden