Sicherstellung der Qualität von Microvias

Bei der Fertigung von Microvias nach den Richtlinien ISO?16949 sowie ISO?13485 ist die Prozessfähigkeit Cpk der beteiligten Prozesse jederzeit nachzuweisen. Es wird eine Methode vorgestellt, mit der die Prozess- sicherheit bei der Fertigung von Microvias gewährleistet werden kann. Die Methode ist dabei gleichermaßen für Microvias über 2 und 3 Lagen geeignet. Anhand von einfachen Testcoupons, bei denen der elektrische Widerstand vor und nach einer Stromimpulsbelastungsfolge gemessen wird, können Rückschlüsse auf die Qualität der Microvia-Prozesse gemacht werden