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Thermisch gespritzte Permanentmagnetschichten

Artikelnummer: GALVANO-5262
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Thermisch gespritzte Permanentmagnetschi
Die Miniaturisierung von magnetischen Aktoren ist eine Herausforderung an die Herstellung strukturierbarer magnetischer Schichten mit hoher Energiedichte und Dicken zwischen 20 um und 1000 um, die mit kommerziell verfügbaren Technologien (z. B. Sputtertechniken) nicht oder nur mit großem Aufwand herstellbar sind. Die höchsten Energiedichten sind mit NdFeB-Magneten erreichbar. Thermische Spritzverfahren sind für die Herstellung hoch qualitativer, dicker Schichten zwar prädestiniert, allerdings waren bisher publizierte Versuche zum thermischen Spritzen von NdFeB-Schichten (DC-VPS) nicht Erfolg versprechend, da die magnetischen Eigenschaften ohne eine komplexe thermische Nachbehandlung gegenüber dem Ausgangspulver drastisch schlechter waren, was auf thermisch und chemisch bedingte Umwandlungen der hartmagnetischen Nd2Fe14B-Phase im Spritzprozess zurückgeführt wird. Das induktiv gekoppelte thermische Hochfrequenzplasma (ICP) bietet wegen seiner besonderen Eigenschaften die Möglichkeit, wesentliche Bedingungen, insbesondere bei der Verformung und Abkühlung der Partikel auf dem Substrat gegenu?ber anderen Technologien zu verändern. So ist es im FG POT der TU Ilmenau gelungen, mit dem ICP in Inertgas- und Grobvakuum-Atmosphäre dicke NdFeB-Schichten mit guten magnetischen Eigenschaften, geringer Porosität und guter Haftung herzustellen. Die magnetischen Kennwerte liegen dabei parameterabhängig bei Hmax= 230 kA/m beziehungsweise Bmax = 330 mT bis 490 mT. Die Ergebnisse legen nahe, dass es durch Variation der Parameter, insbesondere des Reaktordrucks möglich ist, Schichten mit einstellbaren Eigenschaften herzustellen. Eine erste Anwendung in neuartigen, miniaturisierten Magnetventilen wird gegenwärtig vorbereitet.
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