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Untersuchung galvanischer Kupferschichten mit der Rastersondenmikroskopie

Artikelnummer: GALVANO-18157
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Untersuchung galvanischer Kupferschichte
1 Einleitung
Wie kaum eine andere Methode in den letzten Jahren, hat sich die Rastersondenmikroskopie (SPM, engl.: Scanning Probe Microscopy) entwickelt und den Sprung aus den Labors der Physiker und Geräteentwickler in die verschiedenen Zweige der Naturwissenschaft?und Technik geschafft. Dabei haben sich eine?Vielzahl von Applikationen, z.B. die Optische Nahfeldmikroskopie, die Raster-Wärme-Mikroskopie oder die akustische Tunnelmikroskopie, um nur einige zu nennen, etabliert [1]. Der Schwerpunkt liegt aber immer noch auf der Rastertunnelmikroskopie (STM, engl.: Scanning Tunneling Microscopy) und der Atomkraftmikroskopie (AFM, engl.: Atomic Force Microscopy). Die Möglichkeit höchster lateraler und sehr guter vertikaler Auflösung Ist dabei außerordentlich faszinierend. Im Gegensatz zu anderen hochauflösenden mikroskopischen Methoden, kann die SPM auf das Hochvakuum verzichten, ja sogar in wäßrigen Medien arbeiten. Damit ist diese Methode für den Einsatz in der Elektrokristallisation besonders geeignet. In Verbindung mit konventionellen elektrochemischen Methoden ergibt sich die Möglichkeit, Kristallisationsprozesse mit atomarer Auflösung in-situ zu beobachten [2-11].
 
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