Se presentará el Sistema de Ejecución de Fabricación (MES) para la industria de semiconductores, cuyo ámbito funcional puede abarcar escenarios de front-end, back-end e I+D. Incluye la gestión de recetas, la planificación y ejecución de pruebas de producción y el apoyo a procesos típicos como las obleas precursoras. Una plataforma de datos integrada contextualiza y analiza los datos procedentes del taller, así como de múltiples centros de producción y de toda la cadena de suministro.
La gestión de pruebas es una funcionalidad crucial en la fabricación de semiconductores. La integración de pruebas en el MES permite el procesamiento paralelo de lotes de producción con obleas de prueba durante la producción en curso. Gracias al seguimiento sin restricciones, los datos de las pruebas pueden registrarse automáticamente para su evaluación.
El módulo integrado de gestión de recetas ofrece integración de máquinas y estrategias de control automático de recetas para evitar posibles errores, reprocesamientos o rechazos.
En el caso de las obleas precursoras que se retiran del soporte y se envían por delante para probar un proceso, la funcionalidad de envío por delante del MES garantiza que se procesen correctamente, se les haga un seguimiento y se devuelvan al lote correspondiente tras su retirada. El sistema también permite adelantar el envío de todo el lote definiendo las ranuras que deben procesarse en el soporte. Las obleas restantes no se tienen en cuenta hasta que se dispone del resultado.
Pabellón C1 Stand 736
