Die Haltbarkeit der neuen Sensoren war im Dauertest bei 1x10-3 mbar bis zu dreimal länger. Zudem können nun der Verschleißstatus des Sensors sowie ein Betriebsstundenzähler zur vorausschauenden Instandhaltung per Softwarebefehl abgefragt werden. Typische Anwendungsbereiche für die Vakuumtransmitter sind Beschichtung, Analytik, Medizintechnik und Vakuumöfen.
Montag, 06 März 2023 09:50
Kaltkathoden mit optimierter Lebensdauer
von Dr.-Ing. Richard Suchentrunk-
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Kaltkathoden
(Foto: Thyracont Vacuum Instruments GmbH)
Kaltkathodensensoren unterliegen, physikalisch bedingt, im Druckbereich über 1x10-4 mbar einem erhöhten Verschleiß durch Eigensputtern. Indem die neue Generation der Smartline Vakuumtransmitter VSI (Kaltkathode) und VSM (Pirani/Kaltkathode) der Thyracont Vacuum Instruments GmbH die Hochspannung ihrer Kaltkathoden zu hohen Drücken hin gezielt reduziert, konnte die Lebensdauer dieser Sensoren deutlich gesteigert werden.
Weitere Informationen
- Ausgabe: 2
- Jahr: 2023
- Autoren: Dr.-Ing. Richard Suchentrunk
- Link: www.thyracont-vacuum.com
Rubrik:
Dünnschicht- und Plasmatechnik
