La empresa finlandesa Beneq y el Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) han desarrollado conjuntamente un sistema ALD espacial con el que se pueden recubrir objetos 3D de formas complejas, como ópticas, a velocidades hasta ahora inalcanzables a escala de producción. El sistema ALD C2R alcanza velocidades de hasta 200 rpm con tasas de aplicación de hasta 1 µm/hora. Permite un control preciso del grosor del revestimiento, por ejemplo para lentes asféricas pequeñas y muy curvadas. La tecnología ALD (deposición de capas atómicas, ALD) es un proceso autolimitado e isótropo que puede alcanzar un grosor de capa de aproximadamente 1 angstrom por ciclo y, por tanto, puede producir capas o nanomulticapas extremadamente precisas desde el punto de vista dimensional.
La pieza central del sistema ALD Spatial es una mesa giratoria que elimina la necesidad de los subprocesos secuenciales utilizados en los sistemas ALD por lotes. En su lugar, las cortinas de presión y nitrógeno separan geométricamente cuatro zonas dentro del sistema. Una rotación de la mesa giratoria corresponde a un ciclo de ALD, por lo que las muestras se exponen a los reactivos necesarios en distintos puntos durante la rotación. El LZH trabaja actualmente en el recubrimiento de estructuras reticulares ópticas y lentes ópticas de polímero para su uso en gafas de realidad virtual y aumentada mediante el proceso ALD espacial.
