Kooperation von LZH und Beneq für ultraschnelle ALD-Beschichtungen

Das finnische Unternehmen Beneq und das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) haben gemeinsam eine Spatial ALD-Anlage entwickelt, mit der sich komplex geformte 3D-Objekte wie Optiken in bisher unerreichter Geschwindigkeit im Produktionsmaßstab beschichten lassen. Die ALD-Anlage C2R erreicht Geschwindigkeiten von bis zu 200 U/min mit Auftragsraten von bis zu 1 µm/Stunde. Sie ermöglicht eine exakte Kontrolle der Schichtdicke z. B. bei stark gekrümmten, kleinen asphärischen Linsen. Die ALD-Technologie (engl. atomic layer deposition, ALD) ist ein selbstbegrenzender und isotroper Prozess, der pro Zyklus eine Schichtdicke von etwa 1 Angström erreichen und damit extrem maßgenaue Schichten oder Nano-Multilayers erzeugen kann.