Simultan gefu?hrte Untersuchungen zum elektrochemischen Wachstum von Kupferfilmen mittels Coulometrie, Mikrogravimetrie und Lichtreflexion

1 Einleitung?
Es wurde ein Meßverfahren entwickelt, das auf der Verfolgung von elektrochemischen Vorgängen auf der Basis der Coulometrie, Mikrogravimetrie und Lichtreflexion beruht. Diese Meßtechniken wurden so miteinander verknüpft, daß die Untersuchungen simultan und an der gleichen Elektrode durchgeführt werden können. Damit ist es möglich Stromdichte, Frequenzänderung und relative Intensitätsänderung des reflektierten Lichtes in-situ zu verfolgen. Durch diese Meßgrößen können Adsorbate und Metallfilme durch die umgesetzte Ladungsmenge, die abgeschiedene Masse und die optischen Eigenschaften charakterisiert werden. Gleichzeitig sind Aussagen über die Keimbildungsmechanismen und die Struktur der Adsorbatschichten möglich. Auf Grund der Empfindlichkeit jeder der angewendeten Meßmethoden können sowohl Adsorbate wie auch Adsorbatschichten mit einigen Mikrometern Dicke im Echt- zeit-Verfahren charakterisiert werden.