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Um sich auf künftige Hi-Tech-Ansiedlungen und Ausbaupläne strategisch vorzubereiten, baut Sachsen einen alten Militärflugplatz nördlich von Dresden prophylaktisch zu einem der größten Industrieparks in Ostdeutschland aus. Damit zieht der Freistaat auch Konsequenzen aus dem verlorenen Wettbewerb um die Intel-Fabrikansiedlung. Parallel dazu will eine schwedische Universitätsausgründung in Sachsen ein neues Trockenätzverfahren zur Fabrikreife führen – und Fraunhofer baut eine neue Akademie für Mikroelektronik auf.

Bis 2025 soll die Fertigungskapazität von EUV-Anlagen beim weltweit größten Anbieter dieser Lithographiesystemen für die Halbleiterfertigung von 70 auf mindestens 90 Maschinen pro Jahr erweitert werden. Der Bestelleingang von ASML hatte in den ersten drei Monaten wie im Vorquartal einen Wert von rund 7 Mrd. € und liegt damit nach Einschätzung des Marktanalysten JPMorgan um rund 60 % über den Markterwartungen. Dies habe den Auftragsbestand Ende März auf 29 Mrd. € hoch getrieben, sagt ASML-Finanzchef Roger Dassen. In Anbetracht der für 2022 geplanten Umsätze von 17 Mrd. € zeige sich, wie stark ASML bereits für das nächste Jahr ausgelastet sei.

In Anschluss an den Festakt, mit dem die Joanneum Research auf über 30 Jahre Spitzenforschung am steirischen Standort Niklasdorf hinweisen wollte, wurde ein wissenschaftliches Seminar zum Thema Laserproduktionstechnologien abgehalten.

Wie lassen sich Strukturen erzeugen, die kleiner als ein Mikrometer sind? Und wie kann man sogar noch kleinere Strukturen unter 100 Nanometern ohne großen Aufwand herstellen? Wissenschaftler am Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT haben für solche Fragen mehrere Technologien entwickelt. Damit können sie periodische Mikrostrukturen simulieren, herstellen und vermessen. Sie nutzen dafür phasenschiebende Transmissionsmasken, die Nanostrukturen bis hinunter zu 28 Nanometern effizient generieren können.

Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier gab am 25. November 2020 in einer feierlichen Zeremonie unter Pandemie-Beschränkungen in der Verti Music Hall in Berlin die Gewinner des Deutschen Zukunftspreis 2020 bekannt. Für ihr Projekt „EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter“ zeichnete er Experten von ZEISS, TRUMPF Lasersystems und dem Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF mit seinem Preis für Technik und Innovation aus.