Simulation von Plasma-Beschichtungsprozessen

Plasmagestützte Beschichtungsverfahren sind eine gemeinsame Schlüsselkomponente zur Herstellung funktionaler Bauteile in unterschiedlichen Technologien. Beispiele sind wärmedämmende Architekturverglasungen, Kratzschutzschichten, präzisionsoptische Filter aber auch funktionale Schichten, z. B. in der Halbleitertechnik, Photovoltaik, Displaytechnologie und in der Batterietechnik. In den meisten Technologien geht der Trend hin zu höherer Produktivität bei gleichzeitig steigenden Anforderungen an Komplexität, Präzision und Reproduzierbarkeit der involvierten Beschichtungsverfahren. Die experimentelle Entwicklung neuer Beschichtungsprozesse stellt insbesondere bei großen, komplexen Beschichtungsreaktoren eine Herausforderung dar und ist mit hohen Kosten, Risiken und Anlagenstillstandszeiten verbunden. Aus diesem Grund gewinnt die Simulation plasmagestützter Beschichtungsverfahren zunehmend an Bedeutung, da somit die Anzahl von Vorversuchen und Prototypen erheblich reduziert werden kann.