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MySpaceDie Haltbarkeit der neuen Sensoren war im Dauertest bei 1x10-3 mbar bis zu dreimal länger. Zudem können nun der Verschleißstatus des Sensors sowie ein Betriebsstundenzähler zur vorausschauenden Instandhaltung per Softwarebefehl abgefragt werden. Typische Anwendungsbereiche für die Vakuumtransmitter sind Beschichtung, Analytik, Medizintechnik und Vakuumöfen.
Monday, 06 March 2023 09:50
Kaltkathoden mit optimierter Lebensdauer
Written by Dr.-Ing. Richard Suchentrunk-
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Reading time: 1 minute
Kaltkathoden
(Foto: Thyracont Vacuum Instruments GmbH)
Kaltkathodensensoren unterliegen, physikalisch bedingt, im Druckbereich über 1x10-4 mbar einem erhöhten Verschleiß durch Eigensputtern. Indem die neue Generation der Smartline Vakuumtransmitter VSI (Kaltkathode) und VSM (Pirani/Kaltkathode) der Thyracont Vacuum Instruments GmbH die Hochspannung ihrer Kaltkathoden zu hohen Drücken hin gezielt reduziert, konnte die Lebensdauer dieser Sensoren deutlich gesteigert werden.
Additional Info
- Ausgabe: 2
- Jahr: 2023
- Autoren: Dr.-Ing. Richard Suchentrunk
- Link: www.thyracont-vacuum.com
Published in
Dünnschicht- und Plasmatechnik
