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Zusammenarbeit zwischen dem Institut für Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe und der silicet AG, Lohfelden

Betriebsmittel bei der UV-Lithographie und der Mikrogalvanoformung

Die Fertigung zusammenhängender oder vereinzelter mikrostrukturierter Bauteile aus Metall mit minimalen lateralen Abmessungen im tim-Bereich bzw. mit Aspektverhältnissen (Verhältnis Höhe zu Breite), die je nach Herstellungsmethode von ca. 1 bis 20 reichen, kann heute bekanntlich auf verschiedenen Wegen realisiert werden. Neben der Fertigung über den Weg des LIGA-Verfahrens [1-3], welches die Strukturierung eines Resists (z.B. PMMA) mittels Röntgentiefenlithographie und die galvanischer Metallabscheidung beinhaltet, kann die Erzeugung der Mikrostruktur aus Metall auch über die Verfahrenskombination aus UV-Lithographie und Mikrogalvanoformung erfolgen.

ln jüngster Zeit hat ein Fall aus den berühmten Bell Laboratories in den USA Aufsehen erregt, wo es zumindest um Schluderei, wenn nicht gar um Manipulation von Messdaten geht. Dazu folgen einige Überlegungen: So wie es statistisch in der Gesamtbevölkerung Leute gibt, die die Verkehrsregeln missachten, so wird es auch unter Wissenschaftlern, auch unter Physikern, einen Anteil von solchen geben, die sich Fehlverhalten. Das ist die Ansicht von Prof. S. Großmann, Uni Marburg, einem der drei Ombudsleute der DFG. Wegen der Klarheit

der Ergebnisse und der Kontrolle durch die Community, hält er die Entdeckungswahrscheinlichkeit in der Physik allerdings für sehr hoch. Die wirklich interessanten Ergebnisse werden sofort nachvollzogen. Und die, die - weil uninteressant - nicht nachvollzogen werden, sind aufs Ganze gesehen nicht so wichtig. Die Selbstheilungskräfte und die Selbstbeobachtung scheinen in der Physik ganz gut zu funktionieren. Großmann gab ein Interview in der Zeitschrift Physik Journal (Band 1 (2002), Nr. 7/8) und kommentierte den Fall des Nano-Forschers Jan Hendrik Schön von den Bell Labs, der u.a. über unterschiedliche Experimente identische Messkurven publizierte. Für charakteristisch hält Großmann, dass die Kontrollmecha- nismen der Fachzeitschriften nicht funktioniert haben. Die Flut der Veröffentlichungen bewirkt, dass die Referees die Manuskripte nur mit begrenztem Aufwand betrachten können. Doppelungen bemerken sie selten, wenn sie nicht zufällig beide Arbeiten zu begutachten hatten. Das Peer Review-System ist über- lastet. die Gutachter sind überfordert.

Bericht über eine Veranstaltung

Die Firma iplas Innovative Plasma Systems GmbH hat im März 2002 ihren neuen Firmensitz in Troisdorf bezogen. Zur offiziellen Einweihung fand am 9. Juli 2002 das erste Cyrannus  Symposium statt. Gleichzeitig wurde auch der fünfte Jahrestag des Bestehens des Unternehmens gefeiert.

Die Veranstaltung war mit ca. 100 Teilnehmern gut besucht. Geschäftspartner, Interessenten und Freunde waren aus Nah und Fern gekommen, nicht nur um zu feiern, sondern vor allem auch mit der Absicht, sich über das Potenzial der von iplas entwickelten Cyrannus®-Technologie zu näher zu informieren.

Im Anschluss an die Eröffnung der Veranstaltung durch Frau Dr. Hildegard Sung-Spitzl (iplas GmbH, Troisdorf) und die Begrüßung durch den Bürger- meister von Troisdorf, Manfred Uedelhoven, auf dessen Gebiet das Unternehmen nun angesiedelt ist, analysierte Prof Dr. Conrads in seinem Festvortrag das Wirtschaftliche Potenzial der Plasmatechnologie.

Bericht über den 3. Wörlitzer Workshop Funktionelle Schichten

Die Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. (EFDS) (http://www.fds.tz-dd.de) stellt sich die Aufgabe, die enge Zusammenarbeit von Unternehmen und Institutionen in Materialentwicklung, Anlagenbau, Lohnbehandlung und Oberflächencharakterisierung zu fördern, um die industrielle Nutzung neuer Oberflächen- und Schichttechnologien, insbesondere in der Vakuum- und Plasmatechnik voranzubringen. Das geschieht direkt über ein der EFDS angeschlossenes Transferzentrum Oberflächen- und Schichttechnologien sowie indirekt über eine Reihe einschlägiger wissenschaftlicher Veranstaltungen.

In Wörlitz/Sachsen-Anhalt, mitten im geschichts- trächtigen Großraum Dessau-Wittenberg-Bitterfeld, einer der 25 deutschen Regionen der Zukunft fand am 14. und 15. Mai 2002 der 3. Wörlitzer Workshop Funktionelle Schichten statt. Das Hotel Zum Stein bot gute Bedingungen für die etwa 60 Teilnehmer aus Industrie, Forschung und Lehre, sowohl während der Vorträge als auch für das networking nebenher. Nach Begrüßung und Eröffnung durch den Geschäftsführer der EFDS, Prof. Blau, begann die Vortragsreihe des ersten Veranstaltungstages.

1 Einleitung

Das Hochgeschwindigkeitsflammspritzen (HVOF) stellt heute ein etabliertes Verfahren der thermischen Spritztechnik dar. Insbesondere bei der Erstellung von Cermetschichten (u. a, WC/Co und Cr2C2/NiCr) im Bereich des Verschleißschutzes kommt dieses Verfahren zum Einsatz. Allgemein eignet sich der HVOF-Prozess für das Verarbeiten metallischer Spritzzusatzwerkstoffe wobei hohe Partikelgeschwindigkeiten und moderate Prozesstemperaturen gute Voraussetzungen für hochhaft- feste Schichten liefern, deren Werkstoff nur geringfügig thermisch beeinflusst und aufoxidiert wird.

Dies gilt vor allem für HVOF-Brenner der neuesten Generation, die mit Flüssigbrennstoffen bei hohen Brennkammerdrücken betrieben werden und über eine radiale Pulverinjektion in den bereits expandierenden, abkühlenden Flammstrahl verfügen. Die thermische und die kinetische Energie der Spritzpartikel bestimmen die Qualität der aufgespritzten Schicht. Der Einfluss der wesentlichen Systemgrößen auf den Partikelzustand, die nach Parametern des Prozesses und der Partikel unterteilt sind, wird aus Abbildung 1, die sich an ein Ishikawa-Diagramm anlehnt, ersichtlich.

Viele Menschen in unserem abendländischen Kulturkreis leben heute besser und sicherer, als dies in vergangenen Jahrhunderten der Fall war. Das statistisch erfasste Privatvermögen vermehrt sich von Jahr zu Jahr, und das nicht nur bei den Reichen. Wir können ein einigermaßen sicheres Leben führen, denn die Wahrscheinlichkeit, einem Verbrechen oder Terroranschlag zum Opfer zu fallen, ist trotz zunehmender Kriminalität und der international angespannten Sicherheitslage noch immer sehr gering. Die größte Gefahr für Leben oder Gesundheit geht noch immer von uns selbst aus, von unserer oft ungesunden Lebensweise, extremen Sportarten oder Abenteuerurlauben in fernen, unsicheren Regionen unserer Erde.

Seit kurzem weitet der Produktbereich Mischtechnik der Thyssen Henschel Industrietechnik GmbH, Kassel, sein Leistungsspektrum bei Anlagen zum Aufbereiten von Pulverlacken erheblich aus und präsentierte dieses umfassende Portfolio bei der Powder Coating Europe 2002 (15. bis 17. Januar 2002 in Nürnberg). Das Unter- nehmen liefert nun auch für diese Mischaufgabe Komplettanlagen, die von den Silos und der Kleinkomponenten-Zugabe bis zum nach geschalteten Compoundierextruder reichen und die sich entsprechend den Anforderungen des Kunden bis zum vollautomatischen Betrieb ausbauen lassen. Dabei ist die Thyssen Henschel Mischtechnik weltweit der einzige Anbieter, der solche Anlagen mit seinen eigenen Mischern ausstatten kann.

Bericht zu den DFO-Technologie-Tagen am 19. und 20. März in Münster

 -Fortsetzung aus Heft 8/2002-

Am zweiten Tag der DFO-Technologie-Tage wurden im Themenblock Korrosionsschutz-Prüfung sieben Beiträge präsentiert. Eröffnet wurde die Diskussion mit dem Referat von Prof. Busse über die zerstörungsfreie Prüfung von Schichten.