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Zeitreise in die 80er – Was wurde aus dem LIGA-Verfahren?

Artikelnummer: GALVANO-24291
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Zeitreise in die 80er – Was wurde aus de
Historie
Am ehemaligen Institut für Kernverfahrenstechnik (heute Institut für Mikrostrukturtechnik IMT des Karlsruher Instituts für Technologie KIT) wurde an Verfahren zur Anreicherung von Uran 235 mittels Trenndüsen geforscht. Diese Trenndüsen erforderten äußerst präzise Geometrien mit Abmessungen im Mikrometerbereich. Kleinere Abmessungen der Düsen ermöglichen höhere Betriebsdrücke und somit einen höheren Durchsatz. In den 80ern war jedoch mit spanabhebenden Fertigungsverfahren die realisierbare Grenze minimaler Abmessungen erreicht (Abb. 1) [1].
 
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