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Dienstag, 07 Juni 2022 10:05

Das rasterelektronenmikroskopische Bild zeigt die topographisch strukturierte Kontaktfläche eines Stempels (Copyright: Martin Steinhart)

Die Chemiker Prof. Dr. Martin Steinhart (Universität Osnabrück) und Prof. Dr. Longjian Xue (Wuhan University) haben ein sogenanntes Kapillarnanostempel-Verfahren erfunden. Dafür wurde nun ein Europäisches Patent erteilt.

Rubrik: Dünnschicht- und Plasmatechnik

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