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Dienstag, 08 März 2022 15:00

Dr. Roman Böttger, Direktor Ionentechnologie bei der HZDR Innovation, entnimmt nach der Veredelung eine Wafer-Kassette aus der Ionenimplantations-Endstation (Foto: HZDR Innovation / P. Krajcovic)

Seit etwa zehn Jahren ermöglicht das Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) der Industrie über sein Transferunternehmen HZDR Innovation GmbH einen schnellen und direkten Zugang zu den Anlagen am Ionenstrahlzentrum.

Rubrik: Dünnschicht- und Plasmatechnik

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anlagen
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